15 години
направление “Полупроводникови
технологии”
Направление “Полупроводникови технологии”
е обособено
през 2000 г. при създаването
на обединената катедра “Металургия на цветните метали и полупроводникови технологии” (МЦМ и
ПТ). То е еквивалент на бившата самостоятелна катедра “Химични технологии и материали за микроелектрониката и
електронните елементи” (ХТММЕЕ), която първоначално се нарича “Химия и технология на полупроводниковите
материали”(ХТППМ) и е основана през месец май 1961 год. със Заповед N III
541/17.05.1961 год. на Министерството на просветата и културата с цел да се
задоволят нуждите на електронната промишленост от висококвалифицирани кадри по
специалността “Технология на полупроводниковите материали и електронните
елементи”. Понастоящем тази специалност е специализация “Полупроводникови материали и технологии”
към специалността “Инженерни материали и Материалознание” към Факултета по
металургия и материалознание (ФММ).
Първият
випуск студенти на катедра ХТППМ е приет през учебната 1961/1962 год. Студентите се обучават по учебни
програми, разработени от проф. дхн инж. Зорка Бончева и проф. дфн Христо
Воденичаров, тогава асистенти, които четат и първите лекции съответно по “Химия
на полупроводниковите материали” и “Физика на полупроводниците”.
За ръководител на основаната през м. май 1961 г. катедра е избран проф.
Димитър Джоглев, тогава доцент, който подготвя и чете първия курс лекции по
“Технология на полупроводниковите материали”.
Към този преподавателски колектив последователно в годините се включват: доц.
инж. Петър Петров (1963 год.), доц. д-р инж. Илия Илиев (1964 год.), доц. д-р
инж. Тодора Рачева (1965 год.), доц. д-р инж. Георги Георгиев (студент от първия випуск, завършил през
1967 год.) и доц. д-р инж. Стоян Карбанов (1968 год.), тогава асистенти. През
следващите години колективът на катедра ХТММЕЕ се допълва с нови кадри,
по-голяма част от които са завършили същата катедра и са преминали през школата
на Научно-изследователския сектор (НИС) на университета: доц. д-р инж. Лазар Илков,
доц. д-р инж. Веселин Шанов, проф. д-р инж. Иваня Маркова, проф. дтн инж.
Венцеслав Василев.
След проф. Д. Джоглев, през 1981 год. ръководството на катедра ХТММЕЕ се
поема от проф. дхн инж. З. Бончева, а през 1985 г.- от проф. дтн инж. Георги
Пеев. През различни периоди от време в академичния състав се включват проф. дхн Дария
Владикова, доц. д-р инж. Людмил Замбов,
доц. Борислав Иванов, ас. д-р Мариана Нанова, ас. д-р Кирил Попов, а
катедрата се ръководи последователно от доц. д-р инж. Стоян Карбанов, доц. д-р инж. Тодора Рачева, проф. дтн инж.
Венцеслав Василев и проф. д-р инж. Иваня Маркова.
В катедра ХТММЕЕ са завършили висшето си образование редица учени, които
са се реализирали в последствие като добри специалисти в Америка, Канада,
Австралия, Европа (Франция, Германия, Белгия).
През 2000 г. катедра ХТММЕЕ е обединена с катедра „Металургия на цветните
метали и сплави” под името „Металургия на цветните метали и полупроводникови
технологии” (МЦМ и ПТ) и се трансформира в направление „Полупроводникови
технологии” (ПТ). В периода от
2000 г. до 2008 г. академичният състав на направление ПТ се състои от 9 доценти със степен „доктор”
(доц. Т. Рачева, доц. И. Илиев, доц. Г. Георгиев, доц. В. Шанов, доц. Л. Илков,
доц. В. Василев, доц. Ив. Маркова-Денева, доц. Л. Замбов, доц. Б. Иванов) и 2 асистенти (д-р Л. Алжихмани и д-р инж. Л.
Славов), а в периода след 2008 г. до 2014 г. – от 2 професори (проф. д-р инж. Иваня Маркова-Денева и проф. дтн инж. В. Василев), 1 доцент (доц.
д-р инж. В. Шанов) и 1 главен асистент (гл. ас. д-р инж. Л. Алжихмани). Понастоящем
преподаватели в направлението са проф. д-р инж. Иваня Маркова-Денева, гл. ас.
д-р инж. Л. Алжихмани и ас. д-р инж. Тихомир Петров.
В съответствие със Закона за висше образование
и разработените учебни планове и програми в ХТМУ в направление „Полупроводникови технологии” се обучават
студенти в образователно-квалификационните степени “Бакалавър” и “Магистър”, както и “докторанти”.
В квалификационно-образователната степен „Бакалавър” в специализиращия модул „Полупроводникови материали и технологии” на специалност
„Инженерни материали и материалознание” се подготвят инженер-химици (бакалаври), които
могат да се реализират в следните
области: технология на полупроводниковите материали за различни електронни
елементи, технология на дълбокото пречистване на веществата за електрониката и
микроелектрониката, технология на полупроводникови дискретни електронни
елементи и интегрални схеми; технология на пасивни електронни елементи
(резистори, кондензатори, тънкослойни интегрални схеми), феромагнитни
материали и технология на ферити със
специално предназначение, дебелослойни интегрални схеми, печатни платки. Завършилите
специалисти могат да работят в областта на машиностроенето, химичната и металургичната промишлености,
електрониката, електротехниката и други, както и в научно-изследователски
центрове у нас и в чужбина.
В квалификационно-образователната
степен „Магистър” към направление „Полупроводникови технологии” се обучават студенти по две магистратури: “Полупроводникови
материали и технологии” и “Метрология”.
В периода
2000-2015 г. в направление „Полупроводникови технологии” успешно са
защитили дипломни работи 48 магистри и 118 бакалаври от редовна и задочна форма
на обучение.
В направление „Полупроводникови
технологии” се обучават докторанти
в акредитираната научна специалност “Технология на
полупроводниковите материали и електронните елементи” към Научното направление 5.6.
Материали и материалознание.
В направлението са обучени 2 двустранни AUF-Cotutelle докторанти и 1 докторант
по линия на Френското Правителство с
ръководители от направление “Полупроводникови технологии”
и от съответните френски университети, които успешно са защитили докторските си
дисертации във Франция (Тулуза, Нант, Монтпелие) и България (ХТМУ). За тези 15
години (2000-2015 г.) в направление ПТ са обучени общо 13 редовни докторанти,
от които 6 са защитили дисертациите си и са получили научната степен „доктор”, а другите докторанти са отчислени и са в
процедура за защита. През този период в направлението е защитена и 1 докторска
дисертация за присъждане на научната
степен „доктор на техническите науки”. Академичният състав на
направление „Полупроводникови материали” се попълва от 2 професори въз основа на
конкурс, 1 главен асистент и 3 асистенти (на срочен договор).
Основните
научно-изследователските oбласти в тематиката на катедра ХТММЕЕ се запазват и в
Направление «Полупроводникови технологии» към обединената катедра МЦМ и ПТ, а
именно:
* Технология на полупроводниковите материали и Технологии за производство на
дискретни и интегрални компоненти за електрониката, микроелектрониката и
наноелектрониката;
* Дълбоко пречистване на материалите
за електрониката, електротехниката, фармацията и други ; чисти флуиди;
* Синтез и охарактеризиране на феритни материали, аморфни и стъклообразни материали; тънки слоеве с различно
предназначение;
Във връзка с развитието на иновационните
технологии и създаването на високотехнологични (High tech) матриали за нуждите на микроелектрониката,
включително на развитието на нанотехнологиите и изключителната важност на
наноматериалите за съвременния живот, за микро- и наноелектрониката,
медицината, биотехнологиите, икономиката в катедра ХТММЕЕ се развиват 2 нови
научни области в научно-изследователската тематика: доц. д-р инж. Веселин
Шанов (1985 г.) създава модерно оборудвана Лазерна лаборатория за
получаване на тънки слоеве чрез лазерно стимулирано химическо отлагане от
газова фаза, а проф. д-р инж.
Иваня Маркова въвежда (1999 г.) и утвърждава в научно-изследователската
тематика на направление ”Полупроводникови технологии” (2000 г.) нова научна област:
* Синтез и охарактеризиране, вкл. с ИЧ спектроскопия на наноматериали за електрониката, високовакуумната техника и електрохимичните източници
на ток: синтез на метални и интерметални наноразмерни частици чрез борхидридна
редукция; „template” синтез с носител на хибридни наноразмерни частици,
въглеродно-базирани нанокомпозити за електродни материали.
За получените резултати в областта на синтеза на
наноматериали проф. д-р Иваня Маркова и колектив има издаден Патент (Патент Int. Cl. B 22 F 9/16, рег. № 109626 / 08.08.2005 г. публикуван в
официалния бюлетин на Патентното
ведомство на Република България на 28.02.2007 г.), а възпитаникът на катедра ХТММЕЕ, завършил специалността „ТППМ и ЕЕ”, член
на академичния състав на направление „Полупроводникови технологии” дълги години
и понастоящем преподавател в Университета в Синсинати – САЩ, доц. д-р Веселин
Шанов пръв в света синтезира чрез CVD процес въглеродни нанотръбички с нанодиаметър и дължина от порядъка на няколко сантиметри.
В направление ”Полупроводникови технологии” има специализирани
лаборатории, които са създадени преди обединението на двете самостоятелни
катедри и са оборудвани със съвременна техника: лаборатория за ферите за памет
и СВЧ честоти, лаборатория по тънки слоеве, лаборатория по лазерно-стимулирани
CVD-процеси, лаборатория за анализи с инфрачервена
спектроскопия, вкл. на наноматериали, лаборатория за охарактеризиране на наноматериали.
В периода 2000–2015 г. в
направление ”Полупроводникови
технологии” материалната
база се обновява непрекъснато, което повишава качеството на обучение на
студентите и докторантите. Със средства от фонд „Научни изследвания” - МОН е
доставено допълнително оборудване към създадената лаборатория за ИЧ
спектроскопски анализи, включващо електронна везна, дейонизатор, принтер и
други. За научно-изследователската работа и обучението на докторантите са
закупени редица апарати и съоръжения: ДТА апарат, криостат, вакуумни сушилни,
магнитни бъркалки, електронни рН метри и пипети и други. Лекционните зали са
обновени и оборудвани с модерна техника като мултимедийно устройство,
шрайбпроектори и компютри.
За 15 годищния период от обособяването на направление ”Полупроводникови технологии” (2000 – 2015 г.) са разработени 5 проекта, финансирани от фонд “Научни изследвания” – МОН и 31
проекта, финансирани от НИС при ХТМУ-София.
Преподаватели от направлението са участвали в разработването и на 3 международни проекта. В резултат на провежданите научни
изследвания са получени нови
наноматериали и нанокомпозити на тяхна основа за катализатори, за
газопоглътители за високовакуумната техника, за електроди в новите поколения
електрохимични източници на ток като алтернатива на класическите графитови
електроди, както и нови халкогенидни материали с полупроводникови свойста за
сензори и йон-селективни електроди и за оптоелектрониката.
Преподаватели от направление „Полупроводникови технологии” са в професионални контакти с различни
чуждестранни и наши университети и научни институти като Иълдъз Техническия
университет в Истанбул-Турция, Националния Политехнически университет в
Атина-Гърция, Националния политехнически институт ,,Пол Сабатие” (Тулуза, Франция),
Института по материали “Жан Роксел” (Нант, Франция), Университет по наука и
технологии (Монтпелие, Франция), Държавния Университет в Синсинати-САЩ, Държавния
университет в Канзас-САЩ, Университета в Бирмингам-Великобритания, Техническия
университет-София, Софийския университет „Св, Климент Охридски” и редица
институти на Българската Акадения на науките - Централна лаборатория по
фотооптични процеси, Институт по физика на твърдото тяло, Институт по
електроника и Институт по електрохимия и енергийни системи, Институт по физикохимия,
Институт по обща и неорганична химия, Институт по полимери.
Направлението ”Полупроводникови технологии” поддържа връзки с фирми в областта на
електронната индустрия като EPIQ Electronic Assembly-Ботевград, Sensata – Ботевград, Sensata-София, AMG Technology-Ботевград, Къртис Балкан-София, Микрон 20-София, Самюел 90 – Самоков, LEM АД – София, Балканфарма АД - Дупница и други.