ЕЛЕКТРОТЕРМИЯ В ПОЛУПРОВОДНИКОВОТО ПРОИЗВОДСТВО
Вид на курса: задължителен, редовно		Ниво на курса: магистър		Година: 1
Семестър: 1	Брой кредити: 4
Цел на курса: Курсът дава познания относно аналитичната теория на топлопренасянето и физичните основи на електрическата топлогенерация, като обяснява процесите на нагряване и охлаждане на различни обекти в електрическите пещи. Курсът излага и принципите на тяхното топлинно и електрическо проектиране. Излагат се конструкциите на електрическите пещи (електросъпротивителни, с индукционно нагряване, радиационни, електроннолъчеви), използвани в полупроводниковото производство.
Необходими условия: Лекционна зала, снабдена с щрайбпроектор (мултимедия) и лаборатория, снабдена с необходимите апарати за провеждане на упражнения.
Съдържание на курса: Лекционният материал (с хорариум 20 часа) е обобщен в девет теми и 6 основни теми, 3 от които за лабораторни упражнения и 3 за семинарни (с хорариум 10 часа).
Препоръчителна литература: 1. Ковачев Г., Прангов Л., Електротермия, „Техника”, София, 1982 2. Свенчанский А. Д., Электрические промишленные печи, „Энергия”, Москва, 1975 3. Георгиев Г. И., Електротермична и високовакуумна техника, София, 1989 4. Исаченко В. П., Топлопередача, „Энергия”, Москва, 1975
Методи на преподаване: Лекции, беседи и дискусии, онагледявани с щрайбпроектор.			Методи на оценяване: Текуща оценка
Кредити по видове дейност: Аудиторна заетост: 1,2 к. Извънаудиторна заетост: 2,8 к.